Langmuir Probe Diagnostic in Gas Aggregation Cluster Source

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216208%3A11320%2F16%3A10334537" target="_blank" >RIV/00216208:11320/16:10334537 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://www.mff.cuni.cz/veda/konference/wds/proc/pdf16/WDS16_26_f2_Kolpakova.pdf" target="_blank" >http://www.mff.cuni.cz/veda/konference/wds/proc/pdf16/WDS16_26_f2_Kolpakova.pdf</a>

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Langmuir Probe Diagnostic in Gas Aggregation Cluster Source

Popis výsledku v původním jazyce

Deposition parameters and spatial variations of plasma parameters have been investigated in gas aggregation cluster source (GAS) with planar magnetron. Special construction of axially movable gas aggregation chamber in combination with radially movable Langmuir probe allows us to obtain 2D profiles of plasma parameters. In addition to probe diagnostic, we used quartz-crystal microbalance (QCM), mass spectrometer, and optical emission spectroscopy (OES) for simultaneous monitoring of plasma composition and deposition conditions. Measurements were performed in pure argon and in argon with oxygen admixture.

Název v anglickém jazyce

Langmuir Probe Diagnostic in Gas Aggregation Cluster Source

Popis výsledku anglicky

Deposition parameters and spatial variations of plasma parameters have been investigated in gas aggregation cluster source (GAS) with planar magnetron. Special construction of axially movable gas aggregation chamber in combination with radially movable Langmuir probe allows us to obtain 2D profiles of plasma parameters. In addition to probe diagnostic, we used quartz-crystal microbalance (QCM), mass spectrometer, and optical emission spectroscopy (OES) for simultaneous monitoring of plasma composition and deposition conditions. Measurements were performed in pure argon and in argon with oxygen admixture.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GA13-09853S" target="_blank" >GA13-09853S: Aplikace nízkoteplotního plazmatu v klastrovém zdroji s agregací v plynu pro nanášení nanočástic, nanostrukturovaných a nanokompozitních vrstev</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2016

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

WDS'16 Proceedings of Contributed Papers - Physics

ISBN

978-80-7378-333-4

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

155-160

Název nakladatele

Matfyzpress

Místo vydání

Praha

Místo konání akce

Prague, Czech Republic

Datum konání akce

7. 6. 2016

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—