Sondové měření v kapacitně vázaném výboji

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F01%3A00009846" target="_blank" >RIV/00216224:14310/01:00009846 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Probe measurements in capacitively coupled rf discharge
Popis výsledku v původním jazyce
The current-voltage characteristics were measured by r.f. compensated Langmuir probe in capacitevely coupled r.f. discharges. Two different gases, argon and nitrogen, were used. From I-V curves were taken main parameters as a plasma and floating potentials, electron temperature, electron concentration, and mean electron energy and their dependence on input power over the range from 5 to 40 W, distance between electrodes and probe position in radial axe in gas pressure between 0.43 and 4.3 Pa.
Název v anglickém jazyce
Probe measurements in capacitively coupled rf discharge
Popis výsledku anglicky
The current-voltage characteristics were measured by r.f. compensated Langmuir probe in capacitevely coupled r.f. discharges. Two different gases, argon and nitrogen, were used. From I-V curves were taken main parameters as a plasma and floating potentials, electron temperature, electron concentration, and mean electron energy and their dependence on input power over the range from 5 to 40 W, distance between electrodes and probe position in radial axe in gas pressure between 0.43 and 4.3 Pa.

Rok uplatnění
2001
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku
WDS'01, Proceedings of contributed papers, Part II, Physics of Plasmas and Ionized Media
ISBN
80-85863-73-1
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
435-438
Název nakladatele
MATFYZPRESS
Místo vydání
Praha
Místo konání akce
Praha
Datum konání akce
1. 1. 2001
Typ akce podle státní příslušnosti
CST - Celostátní akce
Kód UT WoS článku
—

Podobné výsledky(10)