Temperature dependence of mechanical properties of DLC/Si protective coatings prepared by PECVD

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F02%3A00005633" target="_blank" >RIV/00216224:14310/02:00005633 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Temperature dependence of mechanical properties of DLC/Si protective coatings prepared by PECVD
Popis výsledku v původním jazyce
The mechanical properties of hard protective DLC/Si films deposited by PECVD from Ar-CH4-HMDSO mixture have been analyzed using microindentation techniques as the main characterisation tool. The formation and development of crack lines and patterns havebeen studied to determine fracture toughness of the film and of the interface as a function of temperature.
Název v anglickém jazyce
Temperature dependence of mechanical properties of DLC/Si protective coatings prepared by PECVD
Popis výsledku anglicky
The mechanical properties of hard protective DLC/Si films deposited by PECVD from Ar-CH4-HMDSO mixture have been analyzed using microindentation techniques as the main characterisation tool. The formation and development of crack lines and patterns havebeen studied to determine fracture toughness of the film and of the interface as a function of temperature.

Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—

Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění
2002
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)