Stanovení teploty elektronů v RF výboji v neonu pomocí srážkově-radiačního modelu
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F07%3A00020430" target="_blank" >RIV/00216224:14310/07:00020430 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Determination of electron temperature in neon RF discharge by means of collisional-radiative model
Popis výsledku v původním jazyce
A collisional-radiative model was used to determine the electron temperature in capacitively coupled RF (13.56 MHz) discharge in neon. Two discharge regimes at different pressures were investigated. The temperature was determined from the fit of the theoretical spectra to the spectra measured by optical emission spectroscopy. Three kinds of electron distribution function - Maxwellian, Bi-Maxwellian and Pseudo-Bi-Maxwellian - were considered. The results were compared with Particle-in-Cell/ Monte-Carlo simulation. The comparison of the fitted calculated and measured spectra shows a good agreement between the theory and experiment. The electron temperature, which was estimated from the fits, was approx. 6 eV in the sheath at neon pressure of 10 Pa and approx. 2 eV in the bulk plasma at neon pressure of 80 Pa.
Název v anglickém jazyce
Determination of electron temperature in neon RF discharge by means of collisional-radiative model
Popis výsledku anglicky
A collisional-radiative model was used to determine the electron temperature in capacitively coupled RF (13.56 MHz) discharge in neon. Two discharge regimes at different pressures were investigated. The temperature was determined from the fit of the theoretical spectra to the spectra measured by optical emission spectroscopy. Three kinds of electron distribution function - Maxwellian, Bi-Maxwellian and Pseudo-Bi-Maxwellian - were considered. The results were compared with Particle-in-Cell/ Monte-Carlo simulation. The comparison of the fitted calculated and measured spectra shows a good agreement between the theory and experiment. The electron temperature, which was estimated from the fits, was approx. 6 eV in the sheath at neon pressure of 10 Pa and approx. 2 eV in the bulk plasma at neon pressure of 80 Pa.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2007
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
Proceedings of ICPIG XXVIII
ISBN
978-80-87026-01-4
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
3
Strana od-do
1618-1620
Název nakladatele
Institute of Plasma Physics AS CR
Místo vydání
Praha
Místo konání akce
Praha
Datum konání akce
15. 7. 2007
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
—