Determination of plasma parameters in neon RF discharge by optical emission spectroscopy

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F09%3A00049386" target="_blank" >RIV/00216224:14310/09:00049386 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Determination of plasma parameters in neon RF discharge by optical emission spectroscopy

Popis výsledku v původním jazyce

Electron density and electron temperature was determined in RF (13.56 MHz) discharge in neon. Collisional-radiative model was applied to determine the theoretical spectra of the discharge for specific plasma parameters. These parameters could be then determined from the best fit of the measured and theoretical spectra. Absolute intensity measurement of plasma emission coefficients of 26 neon lines provided the determination of electron density, their relative intensities determined the electron temperature. Both electron temperature and density were measured as a function of RF power. It was found, that with increasing power the electron density increases, but electron temperature decreases.

Název v anglickém jazyce

Determination of plasma parameters in neon RF discharge by optical emission spectroscopy

Popis výsledku anglicky

Electron density and electron temperature was determined in RF (13.56 MHz) discharge in neon. Collisional-radiative model was applied to determine the theoretical spectra of the discharge for specific plasma parameters. These parameters could be then determined from the best fit of the measured and theoretical spectra. Absolute intensity measurement of plasma emission coefficients of 26 neon lines provided the determination of electron density, their relative intensities determined the electron temperature. Both electron temperature and density were measured as a function of RF power. It was found, that with increasing power the electron density increases, but electron temperature decreases.

Druh

O - Ostatní výsledky

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)<br>S - Specificky vyzkum na vysokych skolach

Rok uplatnění

2009

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů