Reprodukovatelnost rtg reflektometrie: výsledky prvního celosvětového Round Robin experimentu

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F08%3A00025747" target="_blank" >RIV/00216224:14310/08:00025747 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Reproducibility in X-ray reflectometry: results from the first world-wide round-robin experiment

Popis výsledku v původním jazyce

X-ray reflectometry (XRR) is a well established technique to evaluate quantitatively electron density, thickness and roughness of thin layers. In this paper, results of the first world-wide XRR round-robin experiment, involving 20 laboratories, are presented and discussed. The round-robin experiment was performed within the framework of the VAMAS Project "X-ray reflectivity measurements for evaluation of thin films and multilayers", the aim of which is to produce a good practice manual for XRR. The reproducibility of measurements obtained using different equipment has been investigated. The influence of the fitting of the experimental data was shown to be non-negligible compared with the experimental factors. The dynamic intensity range proves to be animportant parameter for obtaining a good quality measurement.

Název v anglickém jazyce

Reproducibility in X-ray reflectometry: results from the first world-wide round-robin experiment

Popis výsledku anglicky

X-ray reflectometry (XRR) is a well established technique to evaluate quantitatively electron density, thickness and roughness of thin layers. In this paper, results of the first world-wide XRR round-robin experiment, involving 20 laboratories, are presented and discussed. The round-robin experiment was performed within the framework of the VAMAS Project "X-ray reflectivity measurements for evaluation of thin films and multilayers", the aim of which is to produce a good practice manual for XRR. The reproducibility of measurements obtained using different equipment has been investigated. The influence of the fitting of the experimental data was shown to be non-negligible compared with the experimental factors. The dynamic intensity range proves to be animportant parameter for obtaining a good quality measurement.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2008

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

J. Appl. Crystallography

ISSN

0021-8898

e-ISSN

—

Svazek periodika

41

Číslo periodika v rámci svazku

1

Stát vydavatele periodika

GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

Počet stran výsledku

10

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—