Měřicí platforma pro rentgenovou reflektometrii XRR

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21220%2F08%3A00143922" target="_blank" >RIV/68407700:21220/08:00143922 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Měřicí platforma pro rentgenovou reflektometrii XRR
Popis výsledku v původním jazyce
Řada moderních technických odvětví stále intenzivněji využívá struktury tvořené velice tenkými vrstvami nanesenými na podložku. Ty nachází uplatnění především při výrobě mikroprocesorů, fotovoltaických článků novější generace nebo speciální rentgenové optiky. Metoda rentgenové reflektometrie (XRR) je nesmírně důležitým diagnostickým nástrojem, který umožňuje měřit celou řadu vlastností těchto struktur. Proto neustále roste zájem o velice rychlá měřící zařízení využívající metodu XRR. Tento článek popisuje konstrukční řešení takové měřící platformy, která byla navržena ve spolupráci s Fakultou strojní ČVUT v Praze.
Název v anglickém jazyce
Measurement Platform for XRR
Popis výsledku anglicky
Many modern technical branches are using thin layer structures deposited on substrates. Main applications are in semiconductor industry, solar energy and special X-ray optics. XRR is very important method for characterisation of thin film structures andrequirements on fast XRR tool are growing. This articles describes design solutions of such measurement platform developed together with Faculty of Mechanical Engineering CTU in Prague.

Rok uplatnění
2008
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku
Nové metody a postupy v oblasti přístrojové techniky, automatického řízení a informatiky
ISBN
978-80-01-04765-1
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
6
Strana od-do
—
Název nakladatele
České vysoké učení technické v Praze
Místo vydání
Praha
Místo konání akce
želiv
Datum konání akce
1. 6. 2008
Typ akce podle státní příslušnosti
CST - Celostátní akce
Kód UT WoS článku
—

Podobné výsledky(10)