Meřící platforma pro rentgenovou reflektometrii XRR
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21220%2F08%3A02143905" target="_blank" >RIV/68407700:21220/08:02143905 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Measurement platform for X-ray reflectivity XRR
Popis výsledku v původním jazyce
Many modern technologies are based on using thin film structures that consist of very thin layers deposited on substrate. These are being used in semiconductor industry, especially microprocessor manufacturing, solar energy or X-ray optics. XRR method isvery important and powerful method useful for characterization or such structures. It allows us to measure many important parameters of thin films and so fast measurement tools are required by customers. Our measurement tool has excellent throughput while measurement precision stays comparable with conventional tools. This is achieved by using parallel kinematics and parallel measurement of sample position in all six degrees of freedom.
Název v anglickém jazyce
Measurement platform for X-ray reflectivity XRR
Popis výsledku anglicky
Many modern technologies are based on using thin film structures that consist of very thin layers deposited on substrate. These are being used in semiconductor industry, especially microprocessor manufacturing, solar energy or X-ray optics. XRR method isvery important and powerful method useful for characterization or such structures. It allows us to measure many important parameters of thin films and so fast measurement tools are required by customers. Our measurement tool has excellent throughput while measurement precision stays comparable with conventional tools. This is achieved by using parallel kinematics and parallel measurement of sample position in all six degrees of freedom.
Klasifikace
Druh
G<sub>prot</sub> - Prototyp
CEP obor
BH - Optika, masery a lasery
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
S - Specificky vyzkum na vysokych skolach
Ostatní
Rok uplatnění
2008
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Interní identifikační kód produktu
PRT200802
Číselná identifikace
—
Technické parametry
neveřejná informace
Ekonomické parametry
neveřejná informace
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
25082124
Název vlastníka
Reflex s.r.o.
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Požadavek na licenční poplatek
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Adresa www stránky s výsledkem
—