Artefakty v elipsometrii s rotačním kompenzátorem: analýza a zacházení s daty

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F08%3A00026013" target="_blank" >RIV/00216224:14310/08:00026013 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Multiplate misalignment artifacts in rotating-complensator ellipsometry: Analysis and data treatment

Popis výsledku v původním jazyce

Rotating compensator ellipsometry using multi-plate retarders can suffer from various artifacts. Our measurements in the range from 1.4 to 6.2 eV revealed spurious oscillations in ellipsometric parameters. We assign these oscillations to the angular misalignment between the individual plates of the retarder. A simple model using Mueller matrix framework is constructed to describe the observed effects and to elucidate the origin of the artifacts. The model is used to predict the impact of the artifacts on the results of signal analysis, and a calibration procedure is presented. Finally, the knowledge of the origin of the artifacts has been successfully used to reduce substantially the spurious oscillations in measured data.

Název v anglickém jazyce

Multiplate misalignment artifacts in rotating-complensator ellipsometry: Analysis and data treatment

Popis výsledku anglicky

Rotating compensator ellipsometry using multi-plate retarders can suffer from various artifacts. Our measurements in the range from 1.4 to 6.2 eV revealed spurious oscillations in ellipsometric parameters. We assign these oscillations to the angular misalignment between the individual plates of the retarder. A simple model using Mueller matrix framework is constructed to describe the observed effects and to elucidate the origin of the artifacts. The model is used to predict the impact of the artifacts on the results of signal analysis, and a calibration procedure is presented. Finally, the knowledge of the origin of the artifacts has been successfully used to reduce substantially the spurious oscillations in measured data.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2008

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

physica status solidi (c)

ISSN

1610-1634

e-ISSN

—

Svazek periodika

5

Číslo periodika v rámci svazku

5

Stát vydavatele periodika

CZ - Česká republika

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

000256862500015

EID výsledku v databázi Scopus

—