Optické veličiny drsných vrstev počítané pomocí Rayleigh-Riceovy teorie

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F08%3A00026960" target="_blank" >RIV/00216224:14310/08:00026960 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Optical quantities of rough films calculated by Rayleigh-Rice theory

Popis výsledku v původním jazyce

Experimental ellipsometric and spectroscopic data of a randomly rough silicon substrate are treated using several theoretical approaches. It is shown that the effective medium approximation and scalar diffraction theory are unsuitable approaches for treating the experimental data of rough surfaces containing spatial frequencies comparable with the wavelength of incident light. Using the Rayleigh-Rice theory one can obtain an excellent fit of the experimental data and very close agreement between the values of the statistical parameters determined using the optical method and atomic force microscopy.

Název v anglickém jazyce

Optical quantities of rough films calculated by Rayleigh-Rice theory

Popis výsledku anglicky

Experimental ellipsometric and spectroscopic data of a randomly rough silicon substrate are treated using several theoretical approaches. It is shown that the effective medium approximation and scalar diffraction theory are unsuitable approaches for treating the experimental data of rough surfaces containing spatial frequencies comparable with the wavelength of incident light. Using the Rayleigh-Rice theory one can obtain an excellent fit of the experimental data and very close agreement between the values of the statistical parameters determined using the optical method and atomic force microscopy.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2008

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

physica status solidi (c)

ISSN

1610-1634

e-ISSN

—

Svazek periodika

5

Číslo periodika v rámci svazku

5

Stát vydavatele periodika

DE - Spolková republika Německo

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

000256862500095

EID výsledku v databázi Scopus

—