Different theoretical approaches at optical characterization of randomly rough silicon surfaces covered with native oxide layers

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216275%3A25310%2F18%3A39913128" target="_blank" >RIV/00216275:25310/18:39913128 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/00216224:14310/18:00104690

Výsledek na webu

<a href="https://onlinelibrary.wiley.com/doi/full/10.1002/sia.6463" target="_blank" >https://onlinelibrary.wiley.com/doi/full/10.1002/sia.6463</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1002/sia.6463" target="_blank" >10.1002/sia.6463</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Different theoretical approaches at optical characterization of randomly rough silicon surfaces covered with native oxide layers

Popis výsledku v původním jazyce

Results of the optical characterization of randomly rough silicon surfaces covered with native oxide layers based on processing experimental data obtained by ellipsometry and reflectometry are presented. It is shown that the Rayleigh-Rice theory is suitable theoretical approach for characterizing micro-rough surfaces in contrast to effective medium approximation. Combination of the Rayleigh-Rice theory and scalar diffraction theory is efficient and reliable approach for characterizing rougher surfaces with the rms values of heights larger than 10 nm. Thickness of native oxide layers and roughness parameters, ie, the rms values of heights and autocorrelation lengths, are determined for micro-rough and rougher surfaces using the corresponding theoretical approaches.

Název v anglickém jazyce

Different theoretical approaches at optical characterization of randomly rough silicon surfaces covered with native oxide layers

Popis výsledku anglicky

Results of the optical characterization of randomly rough silicon surfaces covered with native oxide layers based on processing experimental data obtained by ellipsometry and reflectometry are presented. It is shown that the Rayleigh-Rice theory is suitable theoretical approach for characterizing micro-rough surfaces in contrast to effective medium approximation. Combination of the Rayleigh-Rice theory and scalar diffraction theory is efficient and reliable approach for characterizing rougher surfaces with the rms values of heights larger than 10 nm. Thickness of native oxide layers and roughness parameters, ie, the rms values of heights and autocorrelation lengths, are determined for micro-rough and rougher surfaces using the corresponding theoretical approaches.

Druh

J_imp - Článek v periodiku v databázi Web of Science

CEP obor

—

OECD FORD obor

10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)

Projekt

<a href="/cs/project/LO1411" target="_blank" >LO1411: Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy</a><br>

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2018

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Surface and Interface Analysis

ISSN

0142-2421

e-ISSN

—

Svazek periodika

50

Číslo periodika v rámci svazku

11

Stát vydavatele periodika

GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

1230-1233

Kód UT WoS článku

000448889600046

EID výsledku v databázi Scopus

2-s2.0-85055424591