Study of a fast high power pulsed magnetron discharge: role of plasma deconfinement on the charged particle transport
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F08%3A00034388" target="_blank" >RIV/00216224:14310/08:00034388 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Study of a fast high power pulsed magnetron discharge: role of plasma deconfinement on the charged particle transport
Popis výsledku v původním jazyce
Papers study by means of time and space resolved measurement of substrate holder current the transport of ionized sputtered particlef from the magnetron cathode towards the substrate.
Název v anglickém jazyce
Study of a fast high power pulsed magnetron discharge: role of plasma deconfinement on the charged particle transport
Popis výsledku anglicky
Papers study by means of time and space resolved measurement of substrate holder current the transport of ionized sputtered particlef from the magnetron cathode towards the substrate.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2008
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Plasma Sources Science and Technology
ISSN
0963-0252
e-ISSN
—
Svazek periodika
17
Číslo periodika v rámci svazku
3
Stát vydavatele periodika
GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska
Počet stran výsledku
9
Strana od-do
—
Kód UT WoS článku
000258144500008
EID výsledku v databázi Scopus
—