Homogenization of CZ Si wafers by Tabula Rasa annealing

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F09%3A00029728" target="_blank" >RIV/00216224:14310/09:00029728 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/68081723:_____/09:00332842

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Homogenization of CZ Si wafers by Tabula Rasa annealing

Popis výsledku v původním jazyce

The differences in oxygen precipitation, precipitate morphology and evolution of point defects in samples with and without Tabula Rasa applied were studied by experimental techniques such us infrared absorption spectroscopy, transmission electron microscopy, etching techniques and x-ray diffraction.

Název v anglickém jazyce

Homogenization of CZ Si wafers by Tabula Rasa annealing

Popis výsledku anglicky

The differences in oxygen precipitation, precipitate morphology and evolution of point defects in samples with and without Tabula Rasa applied were studied by experimental techniques such us infrared absorption spectroscopy, transmission electron microscopy, etching techniques and x-ray diffraction.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GA202%2F09%2F1013" target="_blank" >GA202/09/1013: Nukleace a růst kyslíkových precipitátů v křemíku</a><br>

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2009

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Physica B condensed matter

ISSN

0921-4526

e-ISSN

—

Svazek periodika

404

Číslo periodika v rámci svazku

23-24

Stát vydavatele periodika

NL - Nizozemsko

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—