Mechanical properties of thin films deposited by TVA and G-TVA methods

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F11%3A00049427" target="_blank" >RIV/00216224:14310/11:00049427 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/49777513:23210/11:43898620

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Mechanical properties of thin films deposited by TVA and G-TVA methods

Popis výsledku v původním jazyce

The Thermionic Vacuum Arc (TVA) plasma is a powerful technique able to growth thin films using solids as precursor in vacuum conditions. A large range of materials, even refractory metals were successfully deposited using this technique. In this paper anextension of TVA method from gases (G-TVA) for DLC synthesis is reported. The novelty consists in using a flow of methane, instead of the carbon rod used as anode in the classic TVA method. This expands enor- mously the applicability of the TVA technique for the synthe- sis of thin films from solids to gas precursors. The mechanical properties of the films deposited were investigated. The de- scribed methods enable to prepare carbon films with wide range of mechanical properties from polymer-like carbon up to hard diamond-like carbon.

Název v anglickém jazyce

Mechanical properties of thin films deposited by TVA and G-TVA methods

Popis výsledku anglicky

The Thermionic Vacuum Arc (TVA) plasma is a powerful technique able to growth thin films using solids as precursor in vacuum conditions. A large range of materials, even refractory metals were successfully deposited using this technique. In this paper anextension of TVA method from gases (G-TVA) for DLC synthesis is reported. The novelty consists in using a flow of methane, instead of the carbon rod used as anode in the classic TVA method. This expands enor- mously the applicability of the TVA technique for the synthe- sis of thin films from solids to gas precursors. The mechanical properties of the films deposited were investigated. The de- scribed methods enable to prepare carbon films with wide range of mechanical properties from polymer-like carbon up to hard diamond-like carbon.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/KAN311610701" target="_blank" >KAN311610701: Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>S - Specificky vyzkum na vysokych skolach

Rok uplatnění

2011

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Chemicke Listy

ISSN

0009-2770

e-ISSN

—

Svazek periodika

105/2011

Číslo periodika v rámci svazku

14

Stát vydavatele periodika

CZ - Česká republika

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

132-135

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—