Depth profile analyses of nc-TiC/a-C:H coating prepared by balanced magnetron sputtering

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F11%3A00049858" target="_blank" >RIV/00216224:14310/11:00049858 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/68081723:_____/11:00362870

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Depth profile analyses of nc-TiC/a-C:H coating prepared by balanced magnetron sputtering

Popis výsledku v původním jazyce

Nanocrystalline titanium carbide embedded in an hydrogenated amorphous carbon matrix (nc-TiC/a-C:H) shows high hardness and Young's modulus together with low wear and low friction coefficient. In this paper, we report on the preparation of well adherentnc-TiC/a-C:H coatings ~5 um thick on stainless steel substrates using a well balanced magnetic field configuration and only very low power RF bias on the substrate. Hardness and Young's modulus of these coatings are 43 GPa and 380 GPa, respectively. Themechanical properties ? hardness and Young's modulus ? measured from the coating's top reach the values obtained at optimized experiments where the unbalanced magnetic field configuration was used. A simple method of depth profiling suitable for evaluation of mechanical properties of several micrometers thick coatings is developed and employed. The paper reports on the depth profile analyses of the coating hardness, Young's modulus, composition and morphology.

Název v anglickém jazyce

Depth profile analyses of nc-TiC/a-C:H coating prepared by balanced magnetron sputtering

Popis výsledku anglicky

Nanocrystalline titanium carbide embedded in an hydrogenated amorphous carbon matrix (nc-TiC/a-C:H) shows high hardness and Young's modulus together with low wear and low friction coefficient. In this paper, we report on the preparation of well adherentnc-TiC/a-C:H coatings ~5 um thick on stainless steel substrates using a well balanced magnetic field configuration and only very low power RF bias on the substrate. Hardness and Young's modulus of these coatings are 43 GPa and 380 GPa, respectively. Themechanical properties ? hardness and Young's modulus ? measured from the coating's top reach the values obtained at optimized experiments where the unbalanced magnetic field configuration was used. A simple method of depth profiling suitable for evaluation of mechanical properties of several micrometers thick coatings is developed and employed. The paper reports on the depth profile analyses of the coating hardness, Young's modulus, composition and morphology.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2011

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Surface & Coatings Technology

ISSN

0257-8972

e-ISSN

—

Svazek periodika

205

Číslo periodika v rámci svazku

—

Stát vydavatele periodika

DE - Spolková republika Německo

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

53-56

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—