Influence of hydrogen on behaviour of reactive magnetron sputtering

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F12%3A00057726" target="_blank" >RIV/00216224:14310/12:00057726 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Influence of hydrogen on behaviour of reactive magnetron sputtering
Popis výsledku v původním jazyce
This work studies reactive magnetron sputtering in mixtures of the gases Ar, O2 and H2. The main part is formed by analyzes the hysteresis of the deposition process for the mixtures Ar+O2, Ar+H2 separately and comparison of the results with behaviour ofthe system for the Ar+O2+H2 mixture. Behaviour of the system is studied for the case of deposition titanium oxide layer.
Název v anglickém jazyce
Influence of hydrogen on behaviour of reactive magnetron sputtering
Popis výsledku anglicky
This work studies reactive magnetron sputtering in mixtures of the gases Ar, O2 and H2. The main part is formed by analyzes the hysteresis of the deposition process for the mixtures Ar+O2, Ar+H2 separately and comparison of the results with behaviour ofthe system for the Ar+O2+H2 mixture. Behaviour of the system is studied for the case of deposition titanium oxide layer.

Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2012
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku
Potential and Applications of Surface Nanotreatment of Polymers and Glass: Book of Extended Abstracts
ISBN
9788021059795
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
2
Strana od-do
126-127
Název nakladatele
Masaryk University
Místo vydání
Brno
Místo konání akce
Brno
Datum konání akce
1. 1. 2012
Typ akce podle státní příslušnosti
EUR - Evropská akce
Kód UT WoS článku
—

Podobné výsledky(10)