Vliv vodíku na reaktivní naprašování transparentních oxidových vrstev

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F07%3A00000204" target="_blank" >RIV/49777513:23520/07:00000204 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Effect of Hydrogen on Reactive Sputtering of Transparent Oxide Films

Popis výsledku v původním jazyce

The article reports on the effect of addition of H2 into a mixture of Ar+O2 on the process of dc reactive magnetron sputtering of oxides and the electrical conductivity of transparent oxide films. Four systems were investigated: In-Sn-O, TiO2, Ti-Y-O a ZrO2 fils. It was found that the addition of H2 into Ar+O2 sputtering gas mixture results in: decrease in the magnetron discharge voltage , strong change of the dependence and dramatic decrease of electrical resistivity of sputtered transparent oxide films. These results are described in detail.

Název v anglickém jazyce

Effect of Hydrogen on Reactive Sputtering of Transparent Oxide Films

Popis výsledku anglicky

The article reports on the effect of addition of H2 into a mixture of Ar+O2 on the process of dc reactive magnetron sputtering of oxides and the electrical conductivity of transparent oxide films. Four systems were investigated: In-Sn-O, TiO2, Ti-Y-O a ZrO2 fils. It was found that the addition of H2 into Ar+O2 sputtering gas mixture results in: decrease in the magnetron discharge voltage , strong change of the dependence and dramatic decrease of electrical resistivity of sputtered transparent oxide films. These results are described in detail.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2007

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Plasma Processes and Polymers

ISSN

1612-8850

e-ISSN

—

Svazek periodika

—

Číslo periodika v rámci svazku

—

Stát vydavatele periodika

DE - Spolková republika Německo

Počet stran výsledku

1

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—