CHEMICAL AND PHYSICAL EVALUATION OF HYDROPHOBIC pp-HMDSO LAYERS DEPOSITED BY PLASMA POLYMERIZATION AT ATMOSPHERIC PRESSURE

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F12%3A00064656" target="_blank" >RIV/00216224:14310/12:00064656 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

CHEMICAL AND PHYSICAL EVALUATION OF HYDROPHOBIC pp-HMDSO LAYERS DEPOSITED BY PLASMA POLYMERIZATION AT ATMOSPHERIC PRESSURE

Popis výsledku v původním jazyce

This work deals with plasma polymerization deposition of hydrophobic layers onto glass substrates at atmospheric pressure. The hexamethyldisiloxane (HMDSO)organosilicon monomer was used as precursor for plasma polymerization in nitrogen working gas. Theso-called Diffuse Coplanar Surface Barrier Discharge was used as a source of non-equilibrium non-thermal plasma. The pp-HMDSO thin films were studied by the means of SEM,AFM, FTIR, XPS and SIMS measurements. Our research revealed that smooth, polymer-like, hydrophobic and transparent in visible range thin films were deposited on the glass substrates. The results indicate that DCSBD discharge can be used for thin films deposition by the means of plasma polymerization process at atmospheric pressure.

Název v anglickém jazyce

CHEMICAL AND PHYSICAL EVALUATION OF HYDROPHOBIC pp-HMDSO LAYERS DEPOSITED BY PLASMA POLYMERIZATION AT ATMOSPHERIC PRESSURE

Popis výsledku anglicky

This work deals with plasma polymerization deposition of hydrophobic layers onto glass substrates at atmospheric pressure. The hexamethyldisiloxane (HMDSO)organosilicon monomer was used as precursor for plasma polymerization in nitrogen working gas. Theso-called Diffuse Coplanar Surface Barrier Discharge was used as a source of non-equilibrium non-thermal plasma. The pp-HMDSO thin films were studied by the means of SEM,AFM, FTIR, XPS and SIMS measurements. Our research revealed that smooth, polymer-like, hydrophobic and transparent in visible range thin films were deposited on the glass substrates. The results indicate that DCSBD discharge can be used for thin films deposition by the means of plasma polymerization process at atmospheric pressure.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/ED2.1.00%2F03.0086" target="_blank" >ED2.1.00/03.0086: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2012

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

CHEMICKÉ LISTY

ISSN

0009-2770

e-ISSN

—

Svazek periodika

106

Číslo periodika v rámci svazku

S

Stát vydavatele periodika

CZ - Česká republika

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

1450-1454

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—