Evolution of discharge current in high power impulse magnetron sputtering

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F13%3A00066351" target="_blank" >RIV/00216224:14310/13:00066351 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Evolution of discharge current in high power impulse magnetron sputtering
Popis výsledku v původním jazyce
High power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) is nowadays often discussed topic. Physics of HiPIMS discharge is not completely understand yet. Even very basic characteristics of HiPIMS discharge like time resolved dependence of the cathode voltage andthe discharge current are still discussed and interpreted. This research shows different regimes of time evolution of the discharge current depending on applied target voltage. Possible interpretation is presented.
Název v anglickém jazyce
Evolution of discharge current in high power impulse magnetron sputtering
Popis výsledku anglicky
High power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) is nowadays often discussed topic. Physics of HiPIMS discharge is not completely understand yet. Even very basic characteristics of HiPIMS discharge like time resolved dependence of the cathode voltage andthe discharge current are still discussed and interpreted. This research shows different regimes of time evolution of the discharge current depending on applied target voltage. Possible interpretation is presented.

Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2013
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)