Spokes and cathode voltage and discharge current oscillations in HiPIMS

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F15%3A00081050" target="_blank" >RIV/00216224:14310/15:00081050 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Spokes and cathode voltage and discharge current oscillations in HiPIMS

Popis výsledku v původním jazyce

Oscillations were observed on cathode voltage and discharge current temporal evolution of HiPIMS pulse. The frequency of the oscillations depends only on the actual value of the discharge current for given pressure. Rotation of the spokes over the targetsurface and the frequency of the oscillations on cathode voltage and discharge current show different trends. The oscillations are observed at conditions where at least certain critical amount of spokes emerges.

Název v anglickém jazyce

Spokes and cathode voltage and discharge current oscillations in HiPIMS

Popis výsledku anglicky

Oscillations were observed on cathode voltage and discharge current temporal evolution of HiPIMS pulse. The frequency of the oscillations depends only on the actual value of the discharge current for given pressure. Rotation of the spokes over the targetsurface and the frequency of the oscillations on cathode voltage and discharge current show different trends. The oscillations are observed at conditions where at least certain critical amount of spokes emerges.

Druh

O - Ostatní výsledky

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2015

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů