Studying a low-pressure microwave coaxial discharge in hydrogen using a mixed 2D/3D fluid model
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F15%3A00080658" target="_blank" >RIV/00216224:14310/15:00080658 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1088/0022-3727/48/6/065201" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1088/0022-3727/48/6/065201</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1088/0022-3727/48/6/065201" target="_blank" >10.1088/0022-3727/48/6/065201</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Studying a low-pressure microwave coaxial discharge in hydrogen using a mixed 2D/3D fluid model
Popis výsledku v původním jazyce
This work presents a numerical model of hydrogen plasma in a microwave coaxial discharge at low pressure (25?250 Pa). The model is a mixed two-dimensional (2D)/three-dimensional (3D) model in that it combines three-dimensional geometry for the electromagnetic field and two-dimensional geometry for the transport equations. The model is validated against experimental results available in the literature and, where possible, simulations of comparable discharges. The model shows reasonable agreement in the relevant pressure range. A parametric study with respect to pressure is carried out and it is observed that the plasma contracts towards the quartz tube with increasing pressure. Increasing the pressure also influences the abundance of H + ions but on theother hand it has little impact on hydrogen dissociation degree and electron temperature. Furthermore, the uniformity of the plasma above the substrate holder is analyzed.
Název v anglickém jazyce
Studying a low-pressure microwave coaxial discharge in hydrogen using a mixed 2D/3D fluid model
Popis výsledku anglicky
This work presents a numerical model of hydrogen plasma in a microwave coaxial discharge at low pressure (25?250 Pa). The model is a mixed two-dimensional (2D)/three-dimensional (3D) model in that it combines three-dimensional geometry for the electromagnetic field and two-dimensional geometry for the transport equations. The model is validated against experimental results available in the literature and, where possible, simulations of comparable discharges. The model shows reasonable agreement in the relevant pressure range. A parametric study with respect to pressure is carried out and it is observed that the plasma contracts towards the quartz tube with increasing pressure. Increasing the pressure also influences the abundance of H + ions but on theother hand it has little impact on hydrogen dissociation degree and electron temperature. Furthermore, the uniformity of the plasma above the substrate holder is analyzed.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/GAP205%2F12%2F0908" target="_blank" >GAP205/12/0908: Pokročilý experimentální výzkum mikrovlnného plazmového systému pro přípravu velkoplošných nanodiamantových vrstev</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2015
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Journal of physics D: Applied physics
ISSN
0022-3727
e-ISSN
—
Svazek periodika
48
Číslo periodika v rámci svazku
6
Stát vydavatele periodika
GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska
Počet stran výsledku
17
Strana od-do
"nestránkováno"
Kód UT WoS článku
000348842600006
EID výsledku v databázi Scopus
—