Modeling of the Gas Flow and Plasma Copolymerization of Two Monomers in an Atmospheric Pressure Dielectric Barrier Discharge

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F16%3A00113673" target="_blank" >RIV/00216224:14310/16:00113673 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0257897216310659?via%3Dihub" target="_blank" >https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0257897216310659?via%3Dihub</a>

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Modeling of the Gas Flow and Plasma Copolymerization of Two Monomers in an Atmospheric Pressure Dielectric Barrier Discharge

Popis výsledku v původním jazyce

This contribution is a combined experimental and numerical study of plasma co-polymerization of maleic anhydride and acetylene in an atmospheric pressure dielectric barrier discharge. It combines a three-dimensional model of the gas dynamics in close-to-real geometry with a semi-analytical model of the deposition, which reduces the unknown plasma chemistry into several averaged species. The unknown coefficients of the model are found by correlating it with measurements of film thickness at various deposition conditions. The predictive capabilities of the model are also tested in an independent experiment.

Název v anglickém jazyce

Modeling of the Gas Flow and Plasma Copolymerization of Two Monomers in an Atmospheric Pressure Dielectric Barrier Discharge

Popis výsledku anglicky

This contribution is a combined experimental and numerical study of plasma co-polymerization of maleic anhydride and acetylene in an atmospheric pressure dielectric barrier discharge. It combines a three-dimensional model of the gas dynamics in close-to-real geometry with a semi-analytical model of the deposition, which reduces the unknown plasma chemistry into several averaged species. The unknown coefficients of the model are found by correlating it with measurements of film thickness at various deposition conditions. The predictive capabilities of the model are also tested in an independent experiment.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

—

OECD FORD obor

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)

Projekt

<a href="/cs/project/LQ1601" target="_blank" >LQ1601: CEITEC 2020</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2016

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

SOCIETY OF VACUUM COATERS 59TH ANNUAL TECHNICAL CONFERENCE PROCEEDINGS, 2016

ISBN

9781878068361

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

7

Strana od-do

309-315

Název nakladatele

SOC VACUUM COATERS

Místo vydání

ALBUQUERQUE

Místo konání akce

Indianapolis, IN

Datum konání akce

9. 5. 2016

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

000405161400048