Effect of pulse off time on temporal evolution of sputtered species densities in multi-pulse HiPIMS discharge

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F15%3A00081303" target="_blank" >RIV/00216224:14310/15:00081303 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="https://munispace.muni.cz/index.php/munispace/catalog/book/792" target="_blank" >https://munispace.muni.cz/index.php/munispace/catalog/book/792</a>

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Effect of pulse off time on temporal evolution of sputtered species densities in multi-pulse HiPIMS discharge

Popis výsledku v původním jazyce

The aim of this paper is to experimentally study effect of preceding pulse on the temporal evolution of number densities of sputtered species during the subsequent pulse for different delay time between two successive high-power pulses in the pulse packet. Time evolutions of sputtered species during and after pulse in single-pulse mode are presented, too. Intensities of selected lines of buffer gas were acquired during every measurement.

Název v anglickém jazyce

Effect of pulse off time on temporal evolution of sputtered species densities in multi-pulse HiPIMS discharge

Popis výsledku anglicky

The aim of this paper is to experimentally study effect of preceding pulse on the temporal evolution of number densities of sputtered species during the subsequent pulse for different delay time between two successive high-power pulses in the pulse packet. Time evolutions of sputtered species during and after pulse in single-pulse mode are presented, too. Intensities of selected lines of buffer gas were acquired during every measurement.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2015

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Potential Application of Plasma and Nanomaterials 2015

ISBN

9788021080539

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

22-27

Název nakladatele

Masaryk University

Místo vydání

Brno

Místo konání akce

Brno

Datum konání akce

1. 1. 2015

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—