Behavior of spokes at different magnetic fields

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F16%3A00088162" target="_blank" >RIV/00216224:14310/16:00088162 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Behavior of spokes at different magnetic fields

Popis výsledku v původním jazyce

The investigations of the non-reactive high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) discharge using current probes, high speed camera imaging and optical spectroscopy showed that plasma is not homogenously distributed over the target surface, but it is concentrated in regions of ionization zones called spokes which rotate above the erosion racetrack. The spokes were observed for certain combination of experimental parameters such as discharge current, pressure, target material and working gas.

Název v anglickém jazyce

Behavior of spokes at different magnetic fields

Popis výsledku anglicky

The investigations of the non-reactive high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) discharge using current probes, high speed camera imaging and optical spectroscopy showed that plasma is not homogenously distributed over the target surface, but it is concentrated in regions of ionization zones called spokes which rotate above the erosion racetrack. The spokes were observed for certain combination of experimental parameters such as discharge current, pressure, target material and working gas.

Druh

O - Ostatní výsledky

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2016

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů