Roll-to-roll surface etching of polymers using hydrogen plasma at atmospheric pressure

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F18%3A00106632" target="_blank" >RIV/00216224:14310/18:00106632 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Roll-to-roll surface etching of polymers using hydrogen plasma at atmospheric pressure

Popis výsledku v původním jazyce

This paper reports on plasma surface etching of three different polymers using a low-temperature (80°C) atmospheric-pressure plasma generated in pure hydrogen by a diffuse coplanar surface barrier discharge. Flexible polymer foils were plasma-modified in roll-to-roll configuration. Three polymers, polyethylene naphthalate (PEN), polyethylene terephthalate (PET), and polyimide (PI) foils were exhibited to the hydrogen plasma etching. Scanning electron microscopy was used to determine the change in the thickness of the samples from the measurement of cross-section images of polymer foils. As shown, the etching rate of tested samples was of the order of ~10-100 nm.min-1. Therefore, the presented method is suitable for precise etching of nanostructures and thin polymer film or flexible polymer substrates. © 2018 TANGER Ltd. All Rights Reserved.

Název v anglickém jazyce

Roll-to-roll surface etching of polymers using hydrogen plasma at atmospheric pressure

Popis výsledku anglicky

This paper reports on plasma surface etching of three different polymers using a low-temperature (80°C) atmospheric-pressure plasma generated in pure hydrogen by a diffuse coplanar surface barrier discharge. Flexible polymer foils were plasma-modified in roll-to-roll configuration. Three polymers, polyethylene naphthalate (PEN), polyethylene terephthalate (PET), and polyimide (PI) foils were exhibited to the hydrogen plasma etching. Scanning electron microscopy was used to determine the change in the thickness of the samples from the measurement of cross-section images of polymer foils. As shown, the etching rate of tested samples was of the order of ~10-100 nm.min-1. Therefore, the presented method is suitable for precise etching of nanostructures and thin polymer film or flexible polymer substrates. © 2018 TANGER Ltd. All Rights Reserved.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

—

OECD FORD obor

21000 - Nano-technology

Projekt

<a href="/cs/project/LO1411" target="_blank" >LO1411: Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2018

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

NANOCON 2017 - Conference Proceedings, 9th International Conference on Nanomaterials - Research and Application

ISBN

9788087294819

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

283-288

Název nakladatele

TANGER Ltd.

Místo vydání

Ostrava, Czech Republic

Místo konání akce

Hotel Voronez I Brno, Czech Republic

Datum konání akce

1. 1. 2017

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

000452823300047