Langmuir probe without RF compensation
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F22%3A00126312" target="_blank" >RIV/00216224:14310/22:00126312 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="https://iopscience.iop.org/article/10.1088/1361-6595/ac83eb" target="_blank" >https://iopscience.iop.org/article/10.1088/1361-6595/ac83eb</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1088/1361-6595/ac83eb" target="_blank" >10.1088/1361-6595/ac83eb</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Langmuir probe without RF compensation
Popis výsledku v původním jazyce
Langmuir probes with RF compensation are used for measurements of electron concentration, electron temperature and the DC value of plasma potential in RF discharges. In order to obtain all the RF components of plasma potential, simple probes without RF compensation are used. However, it has been believed that these uncompensated probes can not be used for determination of the DC value of plasma potential and of electron concentration and temperature, since their VA characteristics is distorted by the RF current. Consequently, the evaluation of data measured with uncompensated probes was not possible without additional measurement with a RF compensated Langmuir probe. This contribution analyzes the possibility to use uncompensated probes not only for measurement of RF components of plasma potential, but also for measurement of the DC component of plasma potential, electron concentration and electron temperature.
Název v anglickém jazyce
Langmuir probe without RF compensation
Popis výsledku anglicky
Langmuir probes with RF compensation are used for measurements of electron concentration, electron temperature and the DC value of plasma potential in RF discharges. In order to obtain all the RF components of plasma potential, simple probes without RF compensation are used. However, it has been believed that these uncompensated probes can not be used for determination of the DC value of plasma potential and of electron concentration and temperature, since their VA characteristics is distorted by the RF current. Consequently, the evaluation of data measured with uncompensated probes was not possible without additional measurement with a RF compensated Langmuir probe. This contribution analyzes the possibility to use uncompensated probes not only for measurement of RF components of plasma potential, but also for measurement of the DC component of plasma potential, electron concentration and electron temperature.
Klasifikace
Druh
J<sub>imp</sub> - Článek v periodiku v databázi Web of Science
CEP obor
—
OECD FORD obor
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2022
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Plasma Sources Science and Technology
ISSN
0963-0252
e-ISSN
1361-6595
Svazek periodika
31
Číslo periodika v rámci svazku
8
Stát vydavatele periodika
GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska
Počet stran výsledku
5
Strana od-do
1-5
Kód UT WoS článku
000841586300001
EID výsledku v databázi Scopus
2-s2.0-85136714911