Tvorba mikro- a nanostruktur v chalkogenidových sklech

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216275%3A25310%2F05%3A00003144" target="_blank" >RIV/00216275:25310/05:00003144 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Tvorba mikro- a nanostruktur v chalkogenidových sklech
Popis výsledku v původním jazyce
Práce se zabývá tvorbou mikro- a nanostruktur v amorfních vrstvách chalkogenidů na bázi As a Ge. Je zde ukázáno, že expozice vhodným zářením může indukovat výrazné změny optických vlastnoatí a chemické odolnosti vůči alkáliím. V práci je diskutován mechanismus selektivního leptání a vliv podmínek expozice na leptací křivky. Je demonstrována výroba difrakčních prvků v těchto materiálech.
Název v anglickém jazyce
Fabrication of micro- and nanostructures in chalcogenide glasses.
Popis výsledku anglicky
This paper deals with fabrication of micro- and nanostructures in thin films of amorphous As- and Ge- based chalcogenides. It is shown that exposure to band gap and/or to UV light as well as to electron beam can result in significant changes in optical properties and chemical resistance to alkaline solvents. Mechanism of high selective etching of As-based films is discussed. The influence of exposure conditions on the etching characteristics are investigated. Fabrication of some diffractive optical elements is demonstrated

Rok uplatnění
2005
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)