Study of As50Se50 Thin Film Dissolution Kinetics in Amine based Solutions

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216275%3A25310%2F13%3A39897392" target="_blank" >RIV/00216275:25310/13:39897392 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S1875389213002691#" target="_blank" >http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S1875389213002691#</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.phpro.2013.04.015" target="_blank" >10.1016/j.phpro.2013.04.015</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Study of As50Se50 Thin Film Dissolution Kinetics in Amine based Solutions

Popis výsledku v původním jazyce

Chalcogenide glass thin films are suitable materials for micro optical elements fabrication due to their convenient physical and chemical properties. They are generally photosensitive and thus can be selectively etched. Therefore they can be exploited asphotoresists in photolithography. In this paper we deal with the study of As50Se50 thin films dissolution kinetics in EDA based solutions. The detailed evolution of the etching curves is discussed and the dependences of the average etching rate on the composition and temperature of the etching bath are described.

Název v anglickém jazyce

Study of As50Se50 Thin Film Dissolution Kinetics in Amine based Solutions

Popis výsledku anglicky

Chalcogenide glass thin films are suitable materials for micro optical elements fabrication due to their convenient physical and chemical properties. They are generally photosensitive and thus can be selectively etched. Therefore they can be exploited asphotoresists in photolithography. In this paper we deal with the study of As50Se50 thin films dissolution kinetics in EDA based solutions. The detailed evolution of the etching curves is discussed and the dependences of the average etching rate on the composition and temperature of the etching bath are described.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

CA - Anorganická chemie

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GAP204%2F11%2F0832" target="_blank" >GAP204/11/0832: Tvorba optických prvků založená na mikro- a nanostrukturování chalkogenidových vrstev</a><br>

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2013

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Physics Procedia

ISSN

1875-3892

e-ISSN

—

Svazek periodika

44

Číslo periodika v rámci svazku

1

Stát vydavatele periodika

NL - Nizozemsko

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

114-119

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—