Selective wet etching of amorphous As2Se3 thin films

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216275%3A25310%2F15%3A39900083" target="_blank" >RIV/00216275:25310/15:39900083 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.jnoncrysol.2015.09.021" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1016/j.jnoncrysol.2015.09.021</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.jnoncrysol.2015.09.021" target="_blank" >10.1016/j.jnoncrysol.2015.09.021</a>

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Selective wet etching of amorphous As2Se3 thin films
Popis výsledku v původním jazyce
Photosensitivity based practical applications of chalcogenide glasses such as high resolution inorganic photoresists require thorough understanding of the relations between the glass structure and the etching kinetics. In this paper we report on the selective wet etching of thermally evaporated As2Se3 thin films carried out using amine based solutions. The relation between photo- and thermo-induced structural changes in thin As2Se3 films and the decrease of the etching rate, increase of the etching process' activation energy respectively, was determined.
Název v anglickém jazyce
Selective wet etching of amorphous As2Se3 thin films
Popis výsledku anglicky
Photosensitivity based practical applications of chalcogenide glasses such as high resolution inorganic photoresists require thorough understanding of the relations between the glass structure and the etching kinetics. In this paper we report on the selective wet etching of thermally evaporated As2Se3 thin films carried out using amine based solutions. The relation between photo- and thermo-induced structural changes in thin As2Se3 films and the decrease of the etching rate, increase of the etching process' activation energy respectively, was determined.

Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
CA - Anorganická chemie
OECD FORD obor
—

Projekt
<a href="/cs/project/EE2.3.30.0058" target="_blank" >EE2.3.30.0058: Rozvoj kvalitních vědeckovýzkumných týmů na Univerzitě Pardubice</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2015
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)