Radio-frequency magnetron co-sputtered Ge-Sb-Te phase change thin films

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216275%3A25310%2F21%3A39918087" target="_blank" >RIV/00216275:25310/21:39918087 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="https://doi.org/10.1016/j.jnoncrysol.2021.121003" target="_blank" >https://doi.org/10.1016/j.jnoncrysol.2021.121003</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.jnoncrysol.2021.121003" target="_blank" >10.1016/j.jnoncrysol.2021.121003</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Radio-frequency magnetron co-sputtered Ge-Sb-Te phase change thin films

Popis výsledku v původním jazyce

Radio-frequency magnetron co-sputtering technique with GeTe and Sb2Te3 targets has been used for the deposition of Ge-Sb-Te amorphous thin films. Fabricated layers cover broad region of chemical composition with slight variation in Te content (50.8-53.6 at. % of Te). Upon annealing-induced crystallization, large variations in electrical contrast up to eight orders of magnitude were found. Phase change from amorphous to crystalline state leads also to drastic changes of optical functions demonstrated by optical contrast values up to |delta n|+|delta k| = 2.96 for GeTe layers at Blu-ray wavelength. Reflectivity contrast at Blu-ray wavelength reaches up to -43% with increasing content of GeTe in Ge-Sb-Te thin films, confirming importance of GeTe content in Ge-Sb-Te thin films.

Název v anglickém jazyce

Radio-frequency magnetron co-sputtered Ge-Sb-Te phase change thin films

Popis výsledku anglicky

Radio-frequency magnetron co-sputtering technique with GeTe and Sb2Te3 targets has been used for the deposition of Ge-Sb-Te amorphous thin films. Fabricated layers cover broad region of chemical composition with slight variation in Te content (50.8-53.6 at. % of Te). Upon annealing-induced crystallization, large variations in electrical contrast up to eight orders of magnitude were found. Phase change from amorphous to crystalline state leads also to drastic changes of optical functions demonstrated by optical contrast values up to |delta n|+|delta k| = 2.96 for GeTe layers at Blu-ray wavelength. Reflectivity contrast at Blu-ray wavelength reaches up to -43% with increasing content of GeTe in Ge-Sb-Te thin films, confirming importance of GeTe content in Ge-Sb-Te thin films.

Druh

J_imp - Článek v periodiku v databázi Web of Science

CEP obor

—

OECD FORD obor

20506 - Coating and films

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2021

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Journal of Non-Crystalline Solids

ISSN

0022-3093

e-ISSN

—

Svazek periodika

569

Číslo periodika v rámci svazku

October

Stát vydavatele periodika

NL - Nizozemsko

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

121003

Kód UT WoS článku

000679098300003

EID výsledku v databázi Scopus

2-s2.0-85109419580