Characterization of thin films non-uniform in optical parameters by spectroscopic digital reflectometry

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26210%2F03%3APU40933" target="_blank" >RIV/00216305:26210/03:PU40933 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Characterization of thin films non-uniform in optical parameters by spectroscopic digital reflectometry

Popis výsledku v původním jazyce

For applying this method the special experimental arrangement containing CCD camera as a detector is used. The spectral dependences of the local reflectances are obtained. After treating these experimental data the distributions of the values of the local thicknesses and local refractive index along a large area of the substrates of the nonuniform films are found.

Název v anglickém jazyce

Characterization of thin films non-uniform in optical parameters by spectroscopic digital reflectometry

Popis výsledku anglicky

For applying this method the special experimental arrangement containing CCD camera as a detector is used. The spectral dependences of the local reflectances are obtained. After treating these experimental data the distributions of the values of the local thicknesses and local refractive index along a large area of the substrates of the nonuniform films are found.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2003

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of SPIE

ISBN

0-8194-5055-3

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

12

Strana od-do

260-271

Název nakladatele

SPIE-The International Society for Optical Engineering

Místo vydání

Bellingham, Washington, USA

Místo konání akce

San Diego, California USA

Datum konání akce

3. 8. 2003

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—