Měření povrchů holografickým konfokálním mikroskopem

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26210%2F03%3APU48391" target="_blank" >RIV/00216305:26210/03:PU48391 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Měření povrchů holografickým konfokálním mikroskopem

Popis výsledku v původním jazyce

Holografický konfokální mikroskop zobrazuje na principu nekoherentní holografie v reálném čase, takže kromě obrazové amplitudy je přirozeně rekonstruována také obrazová fáze. V tomto článku ukazujeme teoreticky i experimentálně, že při pozorování povrchůlze jejich fázová zob-razení převádět na výškové mapy a to s přesností několika nanometrů. Nejednoznačnost fázového skoku, která vzniká v oblastech velkých výškových skoků, je odstraněna méně přesným, ale zato jednoznačným měřením dané oblasti pomocí inntenzitního zobrazení v holografickém kon-fokálním mikroskopu, které je hloubkově diskriminováno. Potřebné osové rozlišovací schopnosti je přitom dosaženo použitím spektrálně širokopásmového osvětlení.

Název v anglickém jazyce

Surface Measurement by a Holographic Confocal Microscope

Popis výsledku anglicky

Imaging by a holographic confocal microscope is based on the principle of a real-time incoherent holography. For this reason, the image phase is inherently reconstructed in addition to the image intensity. In this paper, we prove both theoretically and experimentally that the phase images of surfaces can be converted into their height maps with precision of several nanometers. Ambiguity of the phase jump, which appears in the regions of great jumps of height, was removed by a less precise, but non-ambigguous measurement of the region by an intensity image component, which is depth-discriminated in the holographic confocal microscope. The necessary axial resolution was achieved by the use of a spectrally broadband illumination.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/IAA1065203" target="_blank" >IAA1065203: Využití kombinace laserových mikrosvazkových a cytometrických technik ke studiu struktury a dynamiky lidského genomu</a><br>

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2003

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Jemná mechanika a optika

ISSN

0447-6441

e-ISSN

—

Svazek periodika

48

Číslo periodika v rámci svazku

6

Stát vydavatele periodika

CZ - Česká republika

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

174-177

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—