Surface profilometry by a holographic confocal microscopy

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26210%2F03%3APU41879" target="_blank" >RIV/00216305:26210/03:PU41879 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Surface profilometry by a holographic confocal microscopy

Popis výsledku v původním jazyce

Confocal imaging by a holographic confocal microscope is based on the real-time incoherent holography. Besides the image amplitude, the image phase is inherently reconstructed. In this paper, we demonstrate that the phase image component can be convertedinto the height map of the specimen surface, and, in this way, we can measure the surface profile with the precision of several nanometers. The possible ambiguity in the height determination of large height steps is overcome owing to the depth discriminnation property of the microscope. The axial resolution required for this purpose is achieved using broadband illumination.

Název v anglickém jazyce

Surface profilometry by a holographic confocal microscopy

Popis výsledku anglicky

Confocal imaging by a holographic confocal microscope is based on the real-time incoherent holography. Besides the image amplitude, the image phase is inherently reconstructed. In this paper, we demonstrate that the phase image component can be convertedinto the height map of the specimen surface, and, in this way, we can measure the surface profile with the precision of several nanometers. The possible ambiguity in the height determination of large height steps is overcome owing to the depth discriminnation property of the microscope. The axial resolution required for this purpose is achieved using broadband illumination.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GA101%2F00%2F0974" target="_blank" >GA101/00/0974: Mikroskopie s lokální sondou drženou optickými silami</a><br>

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2003

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Optica Applicata

ISSN

0078-5466

e-ISSN

—

Svazek periodika

33

Číslo periodika v rámci svazku

2-3

Stát vydavatele periodika

PL - Polská republika

Počet stran výsledku

9

Strana od-do

381-389

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—