Surface profilometry by a parallel-mode confocal microscope

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26210%2F02%3APU30830" target="_blank" >RIV/00216305:26210/02:PU30830 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Surface profilometry by a parallel-mode confocal microscope

Popis výsledku v původním jazyce

Confocal imaging by a parallel-mode confocal mi-croscope is based on the real-time incoherent-holography technique. Besides the image amplitude, the image phase is inherently reconstructed. In this paper we prove that the phase image component can be converted into the height map, and, in this way, we measure the surface profile with the precision of several nanometers. Small height differences can be measured inside one optical section of the specimen surface, while the measurement of large differencces needs to connect more optical sections. The two procedures are demonstrated experimentally even for the surface with large and steep height changes. The ambiguity in the height determination from the image phase component is overcome by means of the depth discrimination property of the microscope. The axial resolution is improved using broadband illumination.

Název v anglickém jazyce

Surface profilometry by a parallel-mode confocal microscope

Popis výsledku anglicky

Confocal imaging by a parallel-mode confocal mi-croscope is based on the real-time incoherent-holography technique. Besides the image amplitude, the image phase is inherently reconstructed. In this paper we prove that the phase image component can be converted into the height map, and, in this way, we measure the surface profile with the precision of several nanometers. Small height differences can be measured inside one optical section of the specimen surface, while the measurement of large differencces needs to connect more optical sections. The two procedures are demonstrated experimentally even for the surface with large and steep height changes. The ambiguity in the height determination from the image phase component is overcome by means of the depth discrimination property of the microscope. The axial resolution is improved using broadband illumination.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2002

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Optical Engineering

ISSN

0091-3286

e-ISSN

—

Svazek periodika

41

Číslo periodika v rámci svazku

4

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

744-745

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—