Citlivostní analýza vyhodnocování optických parametrů tenkých vrstev (aneb jaké jsou naše šance získat věrohodný výsledek fitováním spekter odrazivosti)

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26210%2F09%3APU81576" target="_blank" >RIV/00216305:26210/09:PU81576 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Citlivostní analýza vyhodnocování optických parametrů tenkých vrstev (aneb jaké jsou naše šance získat věrohodný výsledek fitováním spekter odrazivosti)

Popis výsledku v původním jazyce

V článku je popsána základní myšlenka citlivostní analýzy fitovací procedury běžně používané při vyhodnocování optických parametrů tenkých vrstev. Hledání minimální hodnoty sumy čtverců odchylek teoretické závislosti a závislosti získané experimentálně je často negativně ovlivněno výběrem startovacího vektoru optických parametrů. Proto je v příspěvku zaveden a diskutován tzv. faktor spolehlivosti, který vypovídá o pravděpodobnosti nalezení věrohodného výsledku fitováním. Počáteční vektor startovacích parametrů je vybírán z určitého okolí ideálního (známého) řešení a sleduje se, zda bylo po fitovací proceduře dosaženo shody (TRUE), či nikoliv (FALSE) s tímto řešením. Faktor spolehlivosti je pak zaveden jako poměr počtu úspěšných (TRUE) ku celkovému (TRUE+FALSE) počtu výpočtů. Ukazuje se, že existují takové kombinace optických parametrů zkoumaných vrstev, že lze ke shodě s ideálním řešením dojít t

Název v anglickém jazyce

Sensitivity analysis of optical parameters fitting procedure

Popis výsledku anglicky

Article deals with a sensitivity analysis of fitting procedure: theoretical model of reflectance is fitted to an "ideal" data by applying Levenberg - Marquardt algorithm in order to determine optical properties, their accuracy and reliability factor usedto quantify a convergence successfulness of the reflectance model at given set of starting parameters vector.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2009

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Jemná mechanika a optika

ISSN

0447-6441

e-ISSN

—

Svazek periodika

54

Číslo periodika v rámci svazku

7-8

Stát vydavatele periodika

CZ - Česká republika

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—