Příprava mikrokompresních vzorků z tenkých vrstev pomocí fokusovaných iontových svazků

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26210%2F09%3APU86380" target="_blank" >RIV/00216305:26210/09:PU86380 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Příprava mikrokompresních vzorků z tenkých vrstev pomocí fokusovaných iontových svazků

Popis výsledku v původním jazyce

Tento článek popisuje novou metodu měření mechanických vlastností tenkých vrstev, která kombinuje kompresní test pomocí nanoindentoru a přípravu vzorků pomocí fokusovaných iontových svazků. Článek je především zaměřen na popis přípravy mikrokompresních vzorků. Experimetny byly prováděny na tenké Al vrstvě. Připravené válcové pilířky měly průměr cca 1,3 mikrometru a jejich výška je dána tloušťkou vrstvy (2 mikrometry). Byl nalezen optimalizovaný postup přípravy mirkokompresních vzorků jak z hlediska požadované geometrie tak z hlediska časové náročnosti přípravy. Popsaný postup přípravy vede k reprodukovatelnému tvaru pilířků.

Název v anglickém jazyce

Preparation of microcompresion specimens from thin films films using focused ion beam

Popis výsledku anglicky

In this paper a new method of mechanical properties measurement of thin films is presented. This method combines preparation of specimen using focused ion beam and compressive test by nanoindenter. This paper is focused on descrition of the preparation microcompressive specimens. The thin Al film was studied,. The cylindrical pillars had diameter about 1.3. micrometers and their height was determined by thickness of layer (2 micrometers). The optimized reproducible process of the preparation of the microcompressive specimens was found. This process is optimized from geometry and preparation time poing of view. Successfully executed compressive tests confirmed suitability specimens for microcompresive test.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JR - Ostatní strojírenství

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

S - Specificky vyzkum na vysokych skolach

Rok uplatnění

2009

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

SEMDOK 2009

ISBN

978-80-8070-959-4

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

—

Název nakladatele

Neuveden

Místo vydání

Sk

Místo konání akce

Žilina - Súĺov

Datum konání akce

29. 1. 2009

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—