Optimalizace přípravy mikrokompresních vzorků z tenkých vrstev pomocí fokusvaného iontového svazku

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081723%3A_____%2F09%3A00332796" target="_blank" >RIV/68081723:_____/09:00332796 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/00216305:26210/09:PU86381

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Optimalizace přípravy mikrokompresních vzorků z tenkých vrstev pomocí fokusvaného iontového svazku

Popis výsledku v původním jazyce

Tento článek popisuje novou metodou měření mechanických vlastností tenkých vrstev, která kombinuje kompresní test pomocí nanoindentoru a přípravu vzorků pomocí fokusovaných iontových svazků. Článek je především zaměřen na popis přípravy mikrokompresníchvzorků. Experimenty byly prováděny na tenké vrstvě Al ? 1,5 hm.% Cu. Připravené válcové pilířky měly průměr cca 1,3 mikrometrů a jejich výška je dána tloušťkou vrstvy (2 mikrometry). Byl nalezen optimalizovaný postup přípravy mikrokompresních vzorků jakz hlediska požadované geometrie, tak z hlediska časové náročnosti přípravy. Popsaný postup přípravy vede k reprodukovatelnému tvaru pilířků. Úspěšně provedené kompresní zkoušky potvrdily vhodnost takto připravených vzorků pro mikrokompresní zkoušku.

Název v anglickém jazyce

Optimization of preparation of microcompresion specimens from thin films films using focused ion beam

Popis výsledku anglicky

In this paper new method of mechanical properties measurement of thin films is presented. This method combines preparation of specimen using focused ion beam and compressive test by nanoindenter. This paper is focused on description of the preparation microcompressive specimens. The thin film Al ? 1.5 wt. % Cu was studied. The cylindrical pillars had diameter about 1.3 micrometers and their height was determined by thickness of layer (2 micrometers). The optimized reproducible process of the preparationof the microcompressive specimens was found. This process is optimized from geometry and preparation time point of view. Successfully executed compressive tests confirmed suitability specimens for microcompressive test

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JJ - Ostatní materiály

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2009

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Víceúrovňový design pokrokových materiálů - 2009. Sborník doktorské konference.

ISBN

978-80-254-6070-2

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

8

Strana od-do

—

Název nakladatele

Ústav fyziky materiálů AV ČR

Místo vydání

Brno

Místo konání akce

Brno

Datum konání akce

3. 12. 2009

Typ akce podle státní příslušnosti

CST - Celostátní akce

Kód UT WoS článku

—