Zařízení na analýzu křemíkových desek

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26210%2F12%3APR26504" target="_blank" >RIV/00216305:26210/12:PR26504 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Zařízení na analýzu křemíkových desek
Popis výsledku v původním jazyce
Zařízení se skládá z motorizovaného manipulačního stolku mikroskopu a řídící elektroniky. Elektronika ovládá motory stolku a polohuje křemíkovou desku s přesností na několik mikrometrů. Umožňuje tak snímat mikroskopem povrch celé křemíkové desky. Software analyzuje snímky povrchu křemíkových desek a detekuje počet a rozmístění vrstevných chyb (OISF).
Název v anglickém jazyce
Device for silicon wafer analysis
Popis výsledku anglicky
Device consists of motorized microscope XY-manipulator and control electronics. The electronics controls motors and positions silicon wafer with micrometer precision. It enables taking photos of whole silicon wafer surface. Software analyse photos of silicon wafer surface and detects number and position of defects (OISF).

Rok uplatnění
2012
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Interní identifikační kód produktu
SWA-OISF
Číselná identifikace
—
Technické parametry
Polohování křemíkové desky s mikrometrovou přesností. Umožňuje snímat desky všech běžných velikostí (2 až 8 palců). Software dokáže snímat křemíkové desky všech vyráběných velikostí. Snímání lze nastavit přes průměr nebo na libovolné ploše. Defekty detekuje od velikosti 5px a umí rozlišit dva hlavní typy defektů. Umožňuje export do tabulkového editoru.
Ekonomické parametry
Náklady na výrobu byly 90 000Kč. Doba vývoje zařízení a software přesáhla několik set hodin. Zařízení využíváno firmou ON Semiconductor Czech Republic, s.r.o., právní nástupce - výroba křemíku, výroba čipů 1. máje 2230, 756 61 Rožnov pod Radhoštěm, IČO:26821532 na základě smlouvy.
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
00216305
Název vlastníka
ÚFI-odbor fyziky pevných látek a povrchů
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Požadavek na licenční poplatek
—
Adresa www stránky s výsledkem
—

Podobné výsledky(10)