Determination of local thickness values of non-uniform thin films by imaging spectroscopic reflectometer with enhanced spatial resolution

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26210%2F17%3APU122109" target="_blank" >RIV/00216305:26210/17:PU122109 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/00216224:14310/17:00094433
Výsledek na webu
<a href="http://iopscience.iop.org/article/10.1088/1361-6501/aa5534" target="_blank" >http://iopscience.iop.org/article/10.1088/1361-6501/aa5534</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1088/1361-6501/aa5534" target="_blank" >10.1088/1361-6501/aa5534</a>

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Determination of local thickness values of non-uniform thin films by imaging spectroscopic reflectometer with enhanced spatial resolution
Popis výsledku v původním jazyce
In this paper an imaging spectroscopic reflectometer with enhanced spatial resolution is presented. Main features of its design, experimental data acquisition, i.e. maps of thin film spectral dependencies of local reflectance and the local thickness map determination are described. The ability of this instrument to characterize thin film thickness non-uniformity with high gradients is demonstrated on measurements of thin film edges. A comparison with an older device is also presented.
Název v anglickém jazyce
Determination of local thickness values of non-uniform thin films by imaging spectroscopic reflectometer with enhanced spatial resolution
Popis výsledku anglicky
In this paper an imaging spectroscopic reflectometer with enhanced spatial resolution is presented. Main features of its design, experimental data acquisition, i.e. maps of thin film spectral dependencies of local reflectance and the local thickness map determination are described. The ability of this instrument to characterize thin film thickness non-uniformity with high gradients is demonstrated on measurements of thin film edges. A comparison with an older device is also presented.

Projekt
<a href="/cs/project/TE02000011" target="_blank" >TE02000011: Centrum výzkumu povrchových úprav</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2017
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika
Measurement Science and Technology
ISSN
0957-0233
e-ISSN
1361-6501
Svazek periodika
28
Číslo periodika v rámci svazku
2
Stát vydavatele periodika
GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska
Počet stran výsledku
6
Strana od-do
„025205“-„025205-6“
Kód UT WoS článku
000399552200001
EID výsledku v databázi Scopus
2-s2.0-85010988904

Podobné výsledky(10)