Pressure Sensor with Si3N4 Diaphragm and Optoelectronic Sensing
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F01%3APU22969" target="_blank" >RIV/00216305:26220/01:PU22969 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Pressure Sensor with Si3N4 Diaphragm and Optoelectronic Sensing
Popis výsledku v původním jazyce
Sensitive pressure sensor with nitride membrane and optoelectronic read-out system is described. Measured pressure is transformed into thick layer nitride membrane deflection. Nitride membrane serves as a mirror for laser beam and can move reflected laser mark. Mark?s position is sensed using position sensing device ? fotolateral diode. Diode double current signal is amplified and conditioned digitally by ADuC 812 microcomputer. This one chip microcomputer provides an IEEE 1451.2 interface.
Název v anglickém jazyce
Pressure Sensor with Si3N4 Diaphragm and Optoelectronic Sensing
Popis výsledku anglicky
Sensitive pressure sensor with nitride membrane and optoelectronic read-out system is described. Measured pressure is transformed into thick layer nitride membrane deflection. Nitride membrane serves as a mirror for laser beam and can move reflected laser mark. Mark?s position is sensed using position sensing device ? fotolateral diode. Diode double current signal is amplified and conditioned digitally by ADuC 812 microcomputer. This one chip microcomputer provides an IEEE 1451.2 interface.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
JB - Senzory, čidla, měření a regulace
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/GA102%2F00%2F0938" target="_blank" >GA102/00/0938: Tlakový analyzátor</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2001
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
TEMI 2001 trends in electrical Measurement and Instrumentation
ISBN
972-98115-4-7
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
3
Strana od-do
327-329
Název nakladatele
Instituto de Telecomunicacoes
Místo vydání
Lisbon, Portugal
Místo konání akce
Lisbon
Datum konání akce
13. 9. 2001
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
—