Optoelectronic pressure sensor with Si.sub.3./sub.N.sub.4./sub. diaphragm.

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F01%3A12020160" target="_blank" >RIV/68081731:_____/01:12020160 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Optoelectronic pressure sensor with Si.sub.3./sub.N.sub.4./sub. diaphragm.

Popis výsledku v původním jazyce

Sensitive pressure sensor with nitride membrane and optoelectronic read-out system is described. Measured pressure is transformed into the deformation of a thick layer nitride membrane. Nitride membrane creates a mirror for laser beam and moves with reflected laser mark. Its position is sensed via a position sensing device - photo lateral diode. Diode double current signal is amplified and conditioned digitally by ADuC 812 microcomputer. This one chip provides an IEEE 1451.2 interface.

Název v anglickém jazyce

Optoelectronic pressure sensor with Si.sub.3./sub.N.sub.4./sub. diaphragm.

Popis výsledku anglicky

Sensitive pressure sensor with nitride membrane and optoelectronic read-out system is described. Measured pressure is transformed into the deformation of a thick layer nitride membrane. Nitride membrane creates a mirror for laser beam and moves with reflected laser mark. Its position is sensed via a position sensing device - photo lateral diode. Diode double current signal is amplified and conditioned digitally by ADuC 812 microcomputer. This one chip provides an IEEE 1451.2 interface.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2001

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

16th international conference on production research.

ISBN

80-02-01438-3

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

"X1"-"X5"

Název nakladatele

ČSVTS

Místo vydání

Praha

Místo konání akce

Praha [CZ]

Datum konání akce

29. 7. 2001

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—