Optimalizace detekce sekundárních elektronů segmentovým ionizačním detektorem v environmentálním REM

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F07%3APU68163" target="_blank" >RIV/00216305:26220/07:PU68163 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Optimization of secondary electron detection by segmental ionization detector in environmental SEM

Popis výsledku v původním jazyce

The article deals with a prezentation of results of optimization of secondary electron detection by an ionization detector in the environmental scanning electron microscope. The ionization detectors consisting of a varied electrode geometry and varied voltages on these electrodes, named segmental ionization detectors, are presented as a possibility to reach desired contrasts in a specimen image. In this work, images acquired by several detectors demonstrate detection of different types of signal electrons utilizing a specimen containing thin surface layers and a specimen made for a material contrast measurement. The segmental ionization detector optimized for true secondary electron detection is in the main focus.

Název v anglickém jazyce

Optimization of secondary electron detection by segmental ionization detector in environmental SEM

Popis výsledku anglicky

The article deals with a prezentation of results of optimization of secondary electron detection by an ionization detector in the environmental scanning electron microscope. The ionization detectors consisting of a varied electrode geometry and varied voltages on these electrodes, named segmental ionization detectors, are presented as a possibility to reach desired contrasts in a specimen image. In this work, images acquired by several detectors demonstrate detection of different types of signal electrons utilizing a specimen containing thin surface layers and a specimen made for a material contrast measurement. The segmental ionization detector optimized for true secondary electron detection is in the main focus.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GA102%2F05%2F0886" target="_blank" >GA102/05/0886: Výzkum detekčních systémů pravých sekundárních elektronů v nově koncipovaném environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2007

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of the 8th Multinational Congress on Microscopy

ISBN

978-80-239-9397-4

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

79-80

Název nakladatele

Czechoslovak Microscopy Society

Místo vydání

Neuveden

Místo konání akce

Praha

Datum konání akce

17. 6. 2007

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—