Optimalizace detekce sekundárních elektronů segmentovým ionizačním detektorem v environmentálním REM

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F07%3A00092588" target="_blank" >RIV/68081731:_____/07:00092588 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Optimization of Secondary Electron Detection by Segmental lonization Detector in Environmental SEM

Popis výsledku v původním jazyce

The article deals with a prezentation of results of optimization of secondary electron detection by an ionization detector in the environmental scanning electron microscope. The ionization detectors consisting of a varied electrode geometry and varied voltages on these electrodes, named segmental ionization detectors, are presented as a possibility to reach desired contrasts in a specimen image. In this work, images acquired by several detectors demonstrate detection of different types of signal electrons utilizing a specimen containing thin surface layers and a specimen made for a material contrast measurement.

Název v anglickém jazyce

Optimization of Secondary Electron Detection by Segmental lonization Detector in Environmental SEM

Popis výsledku anglicky

The article deals with a prezentation of results of optimization of secondary electron detection by an ionization detector in the environmental scanning electron microscope. The ionization detectors consisting of a varied electrode geometry and varied voltages on these electrodes, named segmental ionization detectors, are presented as a possibility to reach desired contrasts in a specimen image. In this work, images acquired by several detectors demonstrate detection of different types of signal electrons utilizing a specimen containing thin surface layers and a specimen made for a material contrast measurement.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GA102%2F05%2F0886" target="_blank" >GA102/05/0886: Výzkum detekčních systémů pravých sekundárních elektronů v nově koncipovaném environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu</a><br>

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2007

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of the 8th Multinational Congress on Microscopy

ISBN

978-80-239-9397-4

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

79-80

Název nakladatele

Czechoslovak Microscopy Society

Místo vydání

Prague

Místo konání akce

Prague

Datum konání akce

17. 6. 2007

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—