Nový typ mikrosenzoru s nanočasticovaným povrchem

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F07%3APU69518" target="_blank" >RIV/00216305:26220/07:PU69518 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

New type of micro sensor with active nanoparticle surface

Popis výsledku v původním jazyce

The using of template base methods is a very low cost technology in comparison with lithographic method and pore anodized alumina is one of templates base methods. Highly ordered nanopores in a thin-film alumina template have been prepared for electrochemical micro sensors fabrication with nanopatterned surface of electrodes. The template has been grown on the micro system composes by two gold comb-like electrodes. The template is used for nanopillars or nanotubes formation on the electrodes surface. The preparation highly ordered hexagonal pore [1,2,3] structure as template is done using anodization of Al film adhered on the micro system, which is the first phase of device fabrication. The second is the nanorods or nanotubes growing on the system. Theanodized alumina (AA) as a template was used for its good dielectric properties and for ability of self ordering of aluminum under anodization [2,4]. The aluminum was directly evaporated on gold microelectrodes. The film thickness was ob

Název v anglickém jazyce

New type of micro sensor with active nanoparticle surface

Popis výsledku anglicky

The using of template base methods is a very low cost technology in comparison with lithographic method and pore anodized alumina is one of templates base methods. Highly ordered nanopores in a thin-film alumina template have been prepared for electrochemical micro sensors fabrication with nanopatterned surface of electrodes. The template has been grown on the micro system composes by two gold comb-like electrodes. The template is used for nanopillars or nanotubes formation on the electrodes surface. The preparation highly ordered hexagonal pore [1,2,3] structure as template is done using anodization of Al film adhered on the micro system, which is the first phase of device fabrication. The second is the nanorods or nanotubes growing on the system. Theanodized alumina (AA) as a template was used for its good dielectric properties and for ability of self ordering of aluminum under anodization [2,4]. The aluminum was directly evaporated on gold microelectrodes. The film thickness was ob

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/1QS201710508" target="_blank" >1QS201710508: Impedimetrické chemické mikrosenzory s nanomechanizovaným povrchem elektrod</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2007

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

EMPS 2007 conference proceedings

ISBN

978-952-99751-1-2

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

195-198

Název nakladatele

IMAPS Nordic

Místo vydání

Oulu

Místo konání akce

Oulu (Finland)

Datum konání akce

17. 6. 2007

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—