Uhlíkové nanotrubice v tlakových senzorech

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F07%3APU70457" target="_blank" >RIV/00216305:26220/07:PU70457 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Carbon nanotubes in pressure sensors

Popis výsledku v původním jazyce

In this paper a new research and development of the pressure sensors utilizing carbon nanotubes (CNTs) arrays as the electron source in emission sensor or as the surface increase element in capacitance sensor are presented. Both sensors consisted of thetwo parts; elastic electrode-sensing film fabricated by wet anisotropic etching process and solid electrode. The emission sensor has elastic anode electrode with membrane and multi-wall carbon nanotubes (MWCNTs) arrays cathode in the vacuum chamber. Thecapacitance sensor has the same topology extensive by CNT on both electrodes without vacuum chamber. The MWCNTs were grown by plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD).

Název v anglickém jazyce

Carbon nanotubes in pressure sensors

Popis výsledku anglicky

In this paper a new research and development of the pressure sensors utilizing carbon nanotubes (CNTs) arrays as the electron source in emission sensor or as the surface increase element in capacitance sensor are presented. Both sensors consisted of thetwo parts; elastic electrode-sensing film fabricated by wet anisotropic etching process and solid electrode. The emission sensor has elastic anode electrode with membrane and multi-wall carbon nanotubes (MWCNTs) arrays cathode in the vacuum chamber. Thecapacitance sensor has the same topology extensive by CNT on both electrodes without vacuum chamber. The MWCNTs were grown by plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD).

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2007

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

EDS 07 IMAPS CS INTERNATIONAL CONFERENCE PROCEEDING

ISBN

978-80-214-3470-7

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

178-182

Název nakladatele

Ing. Zdeněk Novotný CSc., Brno, Ondráčkova 105

Místo vydání

Brno

Místo konání akce

BRNO

Datum konání akce

20. 9. 2007

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—