Zařízení pro automatické lokální chemické a elektrochemické depozice
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F08%3APR23573" target="_blank" >RIV/00216305:26220/08:PR23573 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Zařízení pro automatické lokální chemické a elektrochemické depozice
Popis výsledku v původním jazyce
Zařízení umožňuje lokální (elektro-)chemické depozici tenkých vrstev a nanostruktur na tenkovrstvých mikrosystémech hlavně na senzorech. Poziční jednotka provádí depozice na přesné pozici. Čerpadlo umožňuje výměnu depozičního roztoku v depoziční hlavě.
Název v anglickém jazyce
Unit for automatic local chemical and electrochemical depositions
Popis výsledku anglicky
Zařízení umožňuje lokální (elektro-)chemické depozici tenkých vrstev a nanostruktur na tenkovrstvých mikrosystémech hlavně na senzorech. Poziční jednotka provádí depozice na přesné pozici. Čerpadlo umožňuje výměnu depozičního roztoku v depoziční hlavě.
Klasifikace
Druh
G<sub>funk</sub> - Funkční vzorek
CEP obor
CG - Elektrochemie
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/1QS201710508" target="_blank" >1QS201710508: Impedimetrické chemické mikrosenzory s nanomechanizovaným povrchem elektrod</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2008
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Interní identifikační kód produktu
lokální depozice
Číselná identifikace
—
Technické parametry
přesnost poziční jednotky 1um čerpadlo od 0,1mL do 10mL senzor přítlaku do 23 kg programovatelný zdroj s měřáky boroskop s kamerou pro nastavení výchozího bodu
Ekonomické parametry
vývoj 1 mil. Kč, know-how 1mil Kč
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
00216305
Název vlastníka
Ústav mikroelektroniky
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Požadavek na licenční poplatek
N - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek
Adresa www stránky s výsledkem
—