Samostatně čerpaná komora vakuového systému environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F09%3APR24217" target="_blank" >RIV/00216305:26220/09:PR24217 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Samostatně čerpaná komora vakuového systému environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu
Popis výsledku v původním jazyce
Přítomnost vysokého tlaku plynů (až 2000Pa) v komoře vzorku environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu vytváří specifické nároky na konstrukci mikroskopu a jeho čerpací systém. Jednotlivé konstrukční části EREM, zejména samostatně čerpaná komora mezi tubusem a komorou vzorku mikroskopu, musí být navrženy tak, aby vyhověly náročným požadavkům na účinné čerpání jejich vnitřního prostoru a minimalizaci tlaku v něm. Relativní technologická náročnost tohoto mikroskopu je však více než kompenzována širokou škálou možností jeho využití a to ať již v módu vakua, nebo v módu vysokého tlaku. Značnou tlakovou diferenci, vznikající mezi komorou vzorku (3-1000Pa) a prostorem zdroje elektronů (0.001 - 10-9Pa, podle typu katody) VP-SEM, lze udržet díky systému diferenciálně čerpaných komor, tlak omezujících clon (PLA1 a PLA2) a účinnému systému čerpání plynu. Clony jsou opatřeny otvory s průměrem řádově desítek a
Název v anglickém jazyce
Differentially evacuated chamber of the vacuum system of ESEM
Popis výsledku anglicky
High pressure of gases (up to 2000 Pa) in the specimen chamber of the environmental scanning electron microscope leads to specific construction requirements for the microscope and its pumping system. Construction parts of the microscope, especially separately pumped chamber between the optical column and the specimen chamber, must be designed in such a way so that they meet the requirements on efficient evaporation and pressure minimization in this chamber.
Klasifikace
Druh
G<sub>funk</sub> - Funkční vzorek
CEP obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2009
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Interní identifikační kód produktu
DČK
Číselná identifikace
—
Technické parametry
Funkcni vzorek je vyuzivan na pracovisti resitele - Ústav Přístrojové techniky AV ČR; Královopolská 147; 612 64 Brno - Laboratoř LEM Vakuově čerpaná komora s tlakem do cca 30 Pa umožňující oddělit prostory s velmi rozdílnými hodnotami t
Ekonomické parametry
výzkum
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
00216305
Název vlastníka
Ústav elektrotechnologie
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Požadavek na licenční poplatek
—
Adresa www stránky s výsledkem
—