INTRINSIC RESOLUTION OF A PIEZORESISTIVE CERAMIC PRESSURE SENSOR

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F12%3APU101137" target="_blank" >RIV/00216305:26220/12:PU101137 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

INTRINSIC RESOLUTION OF A PIEZORESISTIVE CERAMIC PRESSURE SENSOR

Popis výsledku v původním jazyce

A high resolution of a pressure sensor is of key importance for precise measurements in the low pressure range. The intrinsic resolution of the piezoresistive ceramic pressure sensors (CPSs) depends on its functional sensitivity and the electronic noisein the thick-film resistors. The sensitivity and the noise level depend on the material and structural properties, and the dimensions of the sensing structure. For an optimized sensor design the noise measured at its output can be reduced by using additional electronics for signal processing which results in incensement of the sensor complexity and the final cost. In this work we discuss the technological limits for downscaling the sensors pressure range without any processing of the sensors signal. Theintrinsic resolution of the piezoresistive LTCC pressure sensors, designed for the pressure range 0 to 100 mbar was evaluated and compared to the resolution of the commercial 100-mbar silicon pressure sensor.

Název v anglickém jazyce

INTRINSIC RESOLUTION OF A PIEZORESISTIVE CERAMIC PRESSURE SENSOR

Popis výsledku anglicky

A high resolution of a pressure sensor is of key importance for precise measurements in the low pressure range. The intrinsic resolution of the piezoresistive ceramic pressure sensors (CPSs) depends on its functional sensitivity and the electronic noisein the thick-film resistors. The sensitivity and the noise level depend on the material and structural properties, and the dimensions of the sensing structure. For an optimized sensor design the noise measured at its output can be reduced by using additional electronics for signal processing which results in incensement of the sensor complexity and the final cost. In this work we discuss the technological limits for downscaling the sensors pressure range without any processing of the sensors signal. Theintrinsic resolution of the piezoresistive LTCC pressure sensors, designed for the pressure range 0 to 100 mbar was evaluated and compared to the resolution of the commercial 100-mbar silicon pressure sensor.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/MEB091129" target="_blank" >MEB091129: Šumová diagnostika tlustovrstvových senzorů tlaku</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2012

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

EDS 2012 Proceedings

ISBN

978-80-214-4539-0

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

251-256

Název nakladatele

IMAPS CZ&SK

Místo vydání

Neuveden

Místo konání akce

Brno

Datum konání akce

28. 6. 2012

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—