Investigation of the ion sputtering process of the (SiC)1-x(AlN)x ceramic target
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F12%3APU99134" target="_blank" >RIV/00216305:26220/12:PU99134 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Investigation of the ion sputtering process of the (SiC)1-x(AlN)x ceramic target
Popis výsledku v původním jazyce
This paper describes the theoretical analysis of ion sputtering of multicomponent targets on the basis of (SiC)1-x(AlN)x. The features of ion sputtering are studied.They are connected with consideration necessity of sputtering ratio of multicomponent materials and it changes with the increasing of ion influence dose. Moreover, the effect of low metal concentrations in silicon carbide on th sputtering velocity and layer formation is also taken into account.
Název v anglickém jazyce
Investigation of the ion sputtering process of the (SiC)1-x(AlN)x ceramic target
Popis výsledku anglicky
This paper describes the theoretical analysis of ion sputtering of multicomponent targets on the basis of (SiC)1-x(AlN)x. The features of ion sputtering are studied.They are connected with consideration necessity of sputtering ratio of multicomponent materials and it changes with the increasing of ion influence dose. Moreover, the effect of low metal concentrations in silicon carbide on th sputtering velocity and layer formation is also taken into account.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2012
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
IMAPS CS International Conference. Electronic Devices and Systems. EDS'12. Proceedings.
ISBN
978-80-214-4539-0
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
5
Strana od-do
49-53
Název nakladatele
Vysoke uceni technicke v Brne
Místo vydání
LITERA, Tabor 43a, 61200 Brno
Místo konání akce
Brno
Datum konání akce
28. 6. 2012
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
—