Vše

Co hledáte?

Vše
Projekty
Výsledky výzkumu
Subjekty

Rychlé hledání

  • Projekty podpořené TA ČR
  • Významné projekty
  • Projekty s nejvyšší státní podporou
  • Aktuálně běžící projekty

Chytré vyhledávání

  • Takto najdu konkrétní +slovo
  • Takto z výsledků -slovo zcela vynechám
  • “Takto můžu najít celou frázi”

Optimization of microroughness of replicated X-ray optics

Identifikátory výsledku

  • Kód výsledku v IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21230%2F17%3A00311891" target="_blank" >RIV/68407700:21230/17:00311891 - isvavai.cz</a>

  • Nalezeny alternativní kódy

    RIV/68407700:21340/17:00311891

  • Výsledek na webu

    <a href="http://dx.doi.org/10.1117/12.2265810" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1117/12.2265810</a>

  • DOI - Digital Object Identifier

    <a href="http://dx.doi.org/10.1117/12.2265810" target="_blank" >10.1117/12.2265810</a>

Alternativní jazyky

  • Jazyk výsledku

    angličtina

  • Název v původním jazyce

    Optimization of microroughness of replicated X-ray optics

  • Popis výsledku v původním jazyce

    We report on our work of minimizing the microroughness of replicated grazing incidence X-ray optics. Ion beam and RF sputter cleaning was used as surface treatment and we compare its effects in the article. Vacuum deposition of smoothing layers was also used for minimizing the microroughness. The surfaces were measured by atomic force microscopy and X-ray reflectometry. Microroughness less than 0,5 nm RMS and Ra was achieved.

  • Název v anglickém jazyce

    Optimization of microroughness of replicated X-ray optics

  • Popis výsledku anglicky

    We report on our work of minimizing the microroughness of replicated grazing incidence X-ray optics. Ion beam and RF sputter cleaning was used as surface treatment and we compare its effects in the article. Vacuum deposition of smoothing layers was also used for minimizing the microroughness. The surfaces were measured by atomic force microscopy and X-ray reflectometry. Microroughness less than 0,5 nm RMS and Ra was achieved.

Klasifikace

  • Druh

    D - Stať ve sborníku

  • CEP obor

  • OECD FORD obor

    10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)

Návaznosti výsledku

  • Projekt

  • Návaznosti

    S - Specificky vyzkum na vysokych skolach

Ostatní

  • Rok uplatnění

    2017

  • Kód důvěrnosti údajů

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Údaje specifické pro druh výsledku

  • Název statě ve sborníku

    Proc. SPIE 10235, EUV and X-ray Optics: Synergy between Laboratory and Space V

  • ISBN

    978-1-5106-0972-3

  • ISSN

    0277-786X

  • e-ISSN

    1996-756X

  • Počet stran výsledku

    9

  • Strana od-do

  • Název nakladatele

    The International Society for Optical Engineering (SPIE)

  • Místo vydání

    Bellingham WA

  • Místo konání akce

    Praha

  • Datum konání akce

    24. 4. 2017

  • Typ akce podle státní příslušnosti

    WRD - Celosvětová akce

  • Kód UT WoS článku

    000406801200006