Optimization of microroughness of replicated X-ray optics
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21230%2F17%3A00311891" target="_blank" >RIV/68407700:21230/17:00311891 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/68407700:21340/17:00311891
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1117/12.2265810" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1117/12.2265810</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1117/12.2265810" target="_blank" >10.1117/12.2265810</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Optimization of microroughness of replicated X-ray optics
Popis výsledku v původním jazyce
We report on our work of minimizing the microroughness of replicated grazing incidence X-ray optics. Ion beam and RF sputter cleaning was used as surface treatment and we compare its effects in the article. Vacuum deposition of smoothing layers was also used for minimizing the microroughness. The surfaces were measured by atomic force microscopy and X-ray reflectometry. Microroughness less than 0,5 nm RMS and Ra was achieved.
Název v anglickém jazyce
Optimization of microroughness of replicated X-ray optics
Popis výsledku anglicky
We report on our work of minimizing the microroughness of replicated grazing incidence X-ray optics. Ion beam and RF sputter cleaning was used as surface treatment and we compare its effects in the article. Vacuum deposition of smoothing layers was also used for minimizing the microroughness. The surfaces were measured by atomic force microscopy and X-ray reflectometry. Microroughness less than 0,5 nm RMS and Ra was achieved.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
—
OECD FORD obor
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
S - Specificky vyzkum na vysokych skolach
Ostatní
Rok uplatnění
2017
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
Proc. SPIE 10235, EUV and X-ray Optics: Synergy between Laboratory and Space V
ISBN
978-1-5106-0972-3
ISSN
0277-786X
e-ISSN
1996-756X
Počet stran výsledku
9
Strana od-do
—
Název nakladatele
The International Society for Optical Engineering (SPIE)
Místo vydání
Bellingham WA
Místo konání akce
Praha
Datum konání akce
24. 4. 2017
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
000406801200006